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发明名称 Apparatus for measuring pedestal temperature in a semiconductor wafer processing system
摘要
申请公布号 EP0886303(A3) 申请公布日期 2004.03.31
申请号 EP19980302148 申请日期 1998.03.23
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 KUMAR, AJAY;CHINN, JEFFREY;DESHMUKH, SHASHANK C.;JIANG, WEINAN;DUDA, BRIAN;GUENTHER, ROLF;MINAEE, BRUCE;MOMBELLI, MARCO;WILTSE, MARK
分类号 G01J5/02;G01J5/00;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G01J5/02
代理机构 代理人
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