发明名称
摘要
申请公布号 JP3514712(B2) 申请公布日期 2004.03.31
申请号 JP20000236894 申请日期 2000.08.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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