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发明名称
摘要
申请公布号 JP3513639(B2) 申请公布日期 2004.03.31
申请号 JP19970077617 申请日期 1997.03.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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