压模

摘要

一种提供半制成压模的方法，该方法包括以下步骤：a)选择一圆盘形状的构件(100)，其具有平的第一表面(105；106)和用以形成该半制成压模后表面的第二表面(112)；该圆盘形构件(100)的第一表面为适于结构化且基本上未预结构化的；b)在上述第一表面(105)上施加一辐照敏感层(120；240)，以提供一未经曝光且能够曝光的半制成压模；c)将此未曝光的半制成压模封装在一保护性外壳中(S50)，以使该敏感膜基本上保持在未被曝光；以及d)在执行步骤c)之前对此半制成压模进行处理(S30)，以使其几何形状适于安装在注模机中；所述处理包括对半制成压模的上述第二表面(112)进行处理，以获得小于2微米的平均表面偏差值(R_z)。

主权项

1.一种提供半制成压模的方法，其包括以下步骤：a)选择一基本上为圆盘形状的构件(100)，其具有基本上为平的第一表面(105；106)以及用以形成该半制成压模后表面的第二表面(112)；其特征在于以下步骤：b)在上述第一表面(105)上施加一辐照敏感层(120，240)，以提供一未经曝光且能够曝光的半制成压模；c)将此未曝光的半制成压模封装在一保护性外壳中(S50)，以使该敏感膜基本上保持在未被曝光；以及d)在执行步骤c)之前对此半制成压模进行处理(S30)，所述处理包括：d1)对半制成压模的上述第二表面(112)进行处理，以获得其平均表面偏差值(Rz)在2微米以下。