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发明名称 A PIEZOELECTRIC ACTUATOR
摘要
申请公布号 EP1402582(A2) 申请公布日期 2004.03.31
申请号 EP20020735631 申请日期 2002.06.19
申请人 POLATIS LIMITED 发明人 DAMES, ANDREW, NICHOLAS
分类号 H01L41/083;G02B6/32;G02B6/35;G02B6/42;H01L41/09;H01L41/187;H02N2/00;(IPC1-7):H01L41/083 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
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