发明名称 |
在衬底上淀积材料层的工艺 |
摘要 |
电镀系统(30)和工艺使衬底(20)表面上的电流密度在电镀过程中更均匀,得到更均匀或经修整地淀积导电材料。电流密度修正器(364和37)降低了衬底(20)边缘附近的电流密度,电镀变得更为均匀或可被修整,使衬底(20)中心附近镀敷稍多的材料。此系统还可加以修正,使电流密度修正器部位(364)上的材料可被清除而无需卸下盖(35)的任何部分。减少了设备停机时间,提高了设备寿命并缓解了颗粒问题。 |
申请公布号 |
CN1143906C |
申请公布日期 |
2004.03.31 |
申请号 |
CN98108369.2 |
申请日期 |
1998.05.13 |
申请人 |
摩托罗拉公司 |
发明人 |
辛迪·里德西玛·辛普森;马修·T·赫里克;格雷戈尔·S·埃瑟林顿;詹姆斯·德里克·莱格 |
分类号 |
C25D17/00 |
主分类号 |
C25D17/00 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
王永刚 |
主权项 |
1.在衬底(20)上淀积材料层(56)的工艺,包含下列步骤:将所述衬底(20)置入电镀系统(30,60)中,该电镀系统包括:第一电极(34,64);电连接于所述衬底(20)的第二电极(36),其中,所述第二电极(36)具有多个夹具部位(362)和多个电流密度修正器部位(364);每一个电流密度修正部位(364)位于比其对应的夹具部位(362)更靠近所述第一电极(34,64)处;以及离子液体(39),其中,所述离子液体(39)与所述第一电极(34,64)、所述第二电极(36)和所述衬底(20)接触;将所述第一电极(34,64)偏置于第一电位,将所述第二电极(36)偏置于第二电位,从而在衬底(20)上淀积材料层(56),其中第一所述电位不同于所述第二电位;以及从所述电镀系统(30,60)中移走所述衬底(20)。 |
地址 |
美国伊利诺斯 |