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发明名称 FILM OR LAYER MADE OF SEMI-CONDUCTIVE MATERIAL AND METHOD FOR PRODUCING SAID FILM OR LAYER
摘要
申请公布号 EP1402567(A2) 申请公布日期 2004.03.31
申请号 EP20020758281 申请日期 2002.06.27
申请人 WACKER SILTRONICGESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 MURPHY, BRIAN;WAHLICH, REINHOLD;SCHMOLKE, RUEDIGER;AMMON VON, WILFRIED;MORELAND, JAMES
分类号 H01L21/02;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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