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发明名称
摘要
申请公布号	JP3512496(B2)	申请公布日期	2004.03.29
申请号	JP19940315635	申请日期	1994.11.25
申请人		发明人
分类号	H01L21/302;G02F1/1362;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/12	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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