发明名称
摘要
申请公布号 JP3510762(B2) 申请公布日期 2004.03.29
申请号 JP19970090259 申请日期 1997.03.25
申请人 发明人
分类号 G01R27/26;G01N27/00;G01N27/22;G01R31/26;G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R27/26
代理机构 代理人
主权项
地址