发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY WITH VERTICAL MEMORY TRANSISTORS AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 AU2003267005(A1) 申请公布日期 2004.03.29
申请号 AU20030267005 申请日期 2003.08.21
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 THOMAS SCHULZ;MICHAEL SPECHT;FRANZ HOFMANN;ERHARD LANDGRAF;RICHARD, JOHANNES LUYKEN
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/792;H01L27/115 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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