| 发明名称 |
OPTIMIZATION METHOD FOR AN OBJECTIVE WITH FLUORIDE CRYSTAL LENSES AND OBJECTIVE WITH FLUORIDE CRYSTAL LENSES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003298405(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.29 |
| 申请号 |
AU20030298405 |
申请日期 |
2003.08.19 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
MICHAEL TOTZECK;VLADIMIR KAMENOV;TORALF GRUNER |
| 分类号 |
G02B1/02;G02B5/30;G02B13/14;G03F7/20;(IPC1-7):G02B5/30 |
主分类号 |
G02B1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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