| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG102529(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.26 |
| 申请号 |
SG19980003604 |
申请日期 |
1998.09.11 |
| 申请人 |
INNOTECH CORPORATION |
发明人 |
MINORU YOSHIDA;TAKESHI DOI |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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