| 发明名称 |
LITHOGRAPHY TOOL HAVING A VACUUM RETICLE LIBRARY COUPLED TO A VACUUM CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG102718(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.26 |
| 申请号 |
SG20030003900 |
申请日期 |
2003.07.25 |
| 申请人 |
ASML HOLDING N.V. |
发明人 |
SANTIAGO DEL PUERTO;MARKUS F. A. EURLINGS |
| 分类号 |
G03F1/08;G03F7/20;G03F7/22;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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