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发明名称 PAD CONDITIONER COUPLING AND END EFFECTOR FOR A CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION SYSTEM AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 SG102560(A1) 申请公布日期 2004.03.26
申请号 SG19990006345 申请日期 1999.12.10
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 JAMES F. VANELL
分类号 B24B37/04;B24B41/047;B24B53/007;B24B53/12;H01L21/304;(IPC1-7):B24B19/00 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
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