| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Chips und mit dem Verfahren hergestellter elektronischer Chip |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10063469(B4) |
申请公布日期 |
2004.03.25 |
| 申请号 |
DE20001063469 |
申请日期 |
2000.12.19 |
| 申请人 |
MICRONAS GMBH |
发明人 |
HEINEN, DIRK;VERHOEVEN, HERBERT |
| 分类号 |
H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/31;H01L23/28;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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