发明名称 Procédé pour faire croître épitaxialement des couches semi-conductrices sur des pastilles monocristallines de substance semi-conductrice
摘要
申请公布号 FR1372155(A) 申请公布日期 1964.09.11
申请号 FR19630949461 申请日期 1963.10.03
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 C01B33/02;C30B25/08;C30B25/12;H01L21/00;H01L29/06 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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