CATADIOPTRIC PROJECTION LENS AND METHOD FOR COMPENSATING THE INTRINSIC BIREFRINGENCE IN A LENS OF THIS TYPE

摘要

Ein katadioptrisches Projektionsobjektiv (1), das insbesondere zur Verwendung in einer mikrolithographischen Projektionsbelichtsanlage bestimmt ist, umfasst sowohl in einem katadioptrischen Teil (5) als auch in einem der Bildebene (3) benachbarten dioptrischen Teil (18) eine Mehrzahl refraktiver, intrinsische Doppelbrechung aufweisender optischer Elemente. Da diese refraktiven optischen Elemente in dem katadioptrischen Teil (5) und dem dioptrischen Teil (18) durch eine polarisations sensitive reflektierende Schicht (10) voneinander polarisationsmässig entkoppelt sind, sind der katadioptrische Teil (5) und der dioptrische Teil (18) getrennt voneinander hinsichtlich der intrinsischen Doppelbrechung kompensiert.