发明名称 Verbinderkabel und Verfahren zum Sondieren von vakuumabdichtbaren elektronischen Knoten einer elektrischen Testvorrichtung
摘要 Ein neues dünnes Drahtverbinderkabel und ein Verfahren zum Verbinden eines elektrischen Testinstruments mit einem elektrischen Knoten von Interesse, der innerhalb einer Vakuumkammer einer elektrischen Testvorrichtung abdichtbar ist, werden präsentiert. Das dünne Drahtverbinderkabel umfaßt ein dünnes Drahtkabel mit einem ersten Ende, das mit dem Testinstrument verbindbar ist, und einem zweiten Ende, das einen Verbinder aufweist, der elektrisch mit dem elektrischen Knoten von Interesse verbindbar ist, der innerhalb der vakuumabdichtbaren Kammer liegt. Das dünne Drahtkabel wird von der vakuumabdichtbaren Kammer zu dem Testinstrument zwischen einer flexiblen Vakuumabdichtung und einer Öffnung zu der vakuumabdichtbaren Kammer derart geleitet, daß, wenn das Vakuum angelegt ist, das dünne Drahtkabel zwischen der Abdichtung und der Vorrichtung verkeilt ist. Das dünne Drahtkabel ist im wesentlichen dünn genug, um zu verhindern, daß mehr als ein vernächlässigbarer Betrag von Lecken zwischen dem dünnen Drahtkabel und der flexiblen Vakuumabdichtung vorliegt, was ermöglicht, daß ein Vakuum erzeugt und beibehalten wird.
申请公布号 DE10320132(A1) 申请公布日期 2004.03.25
申请号 DE20031020132 申请日期 2003.05.06
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES, INC. (N.D.GES.D.STAATES DELAWARE) 发明人 SIEFERS, JOHN E.;KING, PHILIP N.
分类号 G01R1/04;G01R1/073;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R1/04
代理机构 代理人
主权项
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