| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN IN EINEM FLUID-BEHÄLTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59711318(D1) |
申请公布日期 |
2004.03.25 |
| 申请号 |
DE19975011318 |
申请日期 |
1997.03.27 |
| 申请人 |
STEAG MICROTECH GMBH |
发明人 |
WEBER, MARTIN;OSHINOWO, JOHN |
| 分类号 |
H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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