发明名称 Vorrichtung zur Endpunktkontrolle beim Polieren von Bauelementen, insbesondere Halbleiterbauelementen
摘要
申请公布号 DE59810787(D1) 申请公布日期 2004.03.25
申请号 DE19985010787 申请日期 1998.11.13
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BRADL, DR.;HEITZSCH, DR.
分类号 B24B37/04;B24B49/04;B24B49/12;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
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