发明名称 AUFSCHLÄMMUNGSZUSAMMENSETZUNG UND VERFAHREN ZUM CHEMISCH-MECHANISCHEN POLIEREN
摘要
申请公布号 DE60008376(D1) 申请公布日期 2004.03.25
申请号 DE20006008376 申请日期 2000.05.01
申请人 EKC TECHNOLOGY, INC.;BAIKOWSKI CHIMIE, POISY 发明人 SMALL, JAMES;PETERSON, LOUISE;TROUNG, TUAN;BONNEAU, LIONEL;DROUGET, CLAUDE
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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