发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung mit einem Hohlraum zur Aufnahme eines Lichtwellenleiters
摘要
申请公布号 DE19716480(B4) 申请公布日期 2004.03.25
申请号 DE19971016480 申请日期 1997.04.19
申请人 MICRONAS SEMICONDUCTOR HOLDING AG, ZUERICH 发明人 IGEL, GUENTER;MALL, MARTIN
分类号 G01L9/04;B81B3/00;C23F1/00;C23F4/00;G02B6/24;G02B6/36;G02B6/38;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):B81C1/00;H01L21/308 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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