| 发明名称 |
Verfahren zum Beschichten eines Substrates und Beschichtungsanlage zu seiner Durchführung |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE4418906(B4) |
申请公布日期 |
2004.03.25 |
| 申请号 |
DE19944418906 |
申请日期 |
1994.05.31 |
| 申请人 |
UNAXIS DEUTSCHLAND HOLDING GMBH |
发明人 |
SZCZYRBOWSKI, JOACHIM |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35;C23C16/50;C23C16/54;H05H1/46 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
