PEDESTAL WITH INTEGRAL SHIELD,申请号KR20037004960-传众专利搜索

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发明名称	PEDESTAL WITH INTEGRAL SHIELD
摘要
申请公布号	KR20040025657(A)	申请公布日期	2004.03.24
申请号	KR20037004960	申请日期	2002.08.09
申请人		发明人
分类号	H01L21/3065;H01J37/32;H01L21/00	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
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