微型低电压低阻值电流感测器的制造方法

摘要

本发明公开了一种微型低电压低阻值电流感测器的制造方法，该种制造方法所得的具有感测器本体以及设于感测器本体两端的电极；感测器本体是以一中间基层，设于中间基层上、下侧的散热胶片，位于上层散热胶片的上的电阻层，位于下层散热胶片表面上的散热层所压合成的基板，压合成为基板，其次于基板上、下表面被覆干膜光阻层，再对该干膜光阻层曝光、显像、形成图样，然后蚀刻形成电极与电阻层、再去除光阻层，再于电极层上电铸铜，将电极加厚，以减少电极的电阻，以及加高散热机构，又经激光修整、被覆保护层，将其切割成为条状，予以溅镀侧面电极，最后切割成为粒状，滚镀金属而得。

主权项

1.一种微型低电压低阻值电流感测器的制造方法，其特征在于，包括下列步骤：以多层板体压合成为制造感测器本体的基板；感测器本体的基板获得后，于其上、下两侧面上分别被覆一层干膜光阻；对所述干膜光阻曝光、显影而形成图样；对形成图样的电阻层与电极层进行蚀刻、去除不要的电阻层与电极层，而形成电极、电阻与散热机构；于电极上，被覆铜而形成电极的加厚层，及散热机构的加厚层；以激光修整电阻；以树脂作为保护层，将电阻被覆；将上述步骤所得的板状体切割成为条状；形成分别与端面电极相接触的侧面电极；将上一步骤所得的条状体切割成为粒状；以及将粒状体滚镀。