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发明名称 Pretreatment process for plasma immersion ion implantation
摘要
申请公布号 EP1111084(B1) 申请公布日期 2004.03.24
申请号 EP20000311393 申请日期 2000.12.19
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BERNSTEIN, JAMES DAVID;KELLERMAN, PETER LAWRENCE;DENHOLM, STUART A.
分类号 B01J19/08;C23C14/04;C23C14/48;H01J37/32;H01L21/223;H01L21/265;H01L21/266;(IPC1-7):C23C14/02 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
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