| 发明名称 | 用于化学－机械打磨的交联聚乙烯打磨垫、打磨装置和打磨方法 | ||
| 摘要 | 本发明一般涉及打磨基体如半导体晶片上的表面的方法，具体地，涉及一种用于此目的的打磨垫。该打磨垫包括一个由交联聚合物制成的打磨体，可装入打磨装置中。打磨包括将包括至少一层的基体定位在打磨体上并打磨该层。 | ||
| 申请公布号 | CN1484566A | 申请公布日期 | 2004.03.24 |
| 申请号 | CN01821550.5 | 申请日期 | 2001.11.27 |
| 申请人 | 皮斯洛奎斯特公司 | 发明人 | 亚乌·S·奥本;爱德华·M·约科利 |
| 分类号 | B24B37/04;B24B49/16;B24D3/26;B24D11/00;B24D13/14 | 主分类号 | B24B37/04 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 董敏 |
| 主权项 | 1.一种打磨垫，包括：一个由一种材料构成的打磨体，其中上述材料是交联聚合物。 | ||
| 地址 | 美国佛罗里达州 | ||