邻近字线侧壁形成的垂直器件和用于半导体芯片的方法

摘要

一种半导体器件，包括形成了沟槽的衬底，该沟槽包括设置在沟槽内的存贮节点。在衬底内和邻近一部分该衬底设置字线。包括有垂直设置的晶体管，其中字线用作为栅极，存贮节点和位线用作为源极和漏极之一个，使得当字线被通电时，该晶体管在存贮节点和位线之间导通。本发明还包括加工具有垂直晶体管的半导体器件的方法。

主权项

1.一种半导体器件，包括：形成有沟槽的衬底，该沟槽包括设置在该沟槽之内的存储节点；设置在该衬底表面的下面并邻近一部分该衬底的字线；和沿上述衬底的上述一部分垂直设置的晶体管，其中字线用作为所述垂直设置的晶体管的栅极，上述存储节点和位线分别用作为源极和漏极之一，使得当被字线激励时，该晶体管在存储节点和位线之间导通；和上述垂直设置的晶体管位于占据第一布线区域的一个有源区内，上述沟槽位于第二布线区，所述第一布线区具有第一特征尺寸，所述第二布线区具有第二特征尺寸，其中第一和第二特征尺寸平行并且相等。