应用于红外线成像器与传感器的悬浮微结构及其制造方法

摘要

本发明公开了一种应用于红外线成像器与传感器的悬浮微结构及其制造方法，将连接悬浮微结构与基板的接脚形成于同一侧，并以双层或多层结构组成支撑悬浮微结构的悬臂部分，利用双层或多层结构间的应力差使悬臂形成向上翘曲；可确保悬浮微结构不会与基板产生接触，由于悬臂是向上产生微翘曲，能使制造工艺中的牺牲层厚度小至约1微米；进而，可应用现有的互补式金氧半导体工艺设备来进行批量生产，尤其可以运用半导体工艺中的金属层作为牺牲层，同时使工艺简化；有助于降低设备和制造上的成本。

主权项

1、一种应用于红外线成像器与传感器的悬浮微结构，其特征在于，包含有：一基板，具有提供电性导通的金属电极；一对同侧接脚，对应连接于该对金属电极，该对同侧接脚各具有一悬臂，该悬臂由两层以上的应力结构所形成，由该悬臂上方产生拉应力并于该悬臂下方产生压应力，使该悬臂呈向上翘曲状；及一悬浮微结构，连接于该悬臂并由该对同侧接脚的支撑来悬浮于基板表面，由向上翘曲状的该悬臂来确保该悬浮微结构悬浮于基板表面。