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发明名称 METHOD FOR PREPARING LOW DIELECTRIC FILMS
摘要
申请公布号 EP1399955(A1) 申请公布日期 2004.03.24
申请号 EP20020743932 申请日期 2002.06.28
申请人 发明人
分类号 C23C16/42;C23C16/30;C23C16/40;H01L21/31;H01L21/312;H01L21/316;H01L25/00;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
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