| 发明名称 | 具有端点侦测口的研磨片 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种研磨片，其包括(a)一主体，其包括一正面、一背面以及一周缘表面；(b)一研磨表面；(c)一端点侦测口，其由主体的正面贯穿至背面；以及(d)一排放槽道，其与该端点侦测口形成流体连通。本发明还提供一种制造此一研磨片的方法，以及一种利用此一研磨片来研磨一基板的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1484568A | 申请公布日期 | 2004.03.24 |
| 申请号 | CN02803460.0 | 申请日期 | 2002.01.05 |
| 申请人 | 卡伯特微电子公司 | 发明人 | 罗兰·K·塞维拉;詹姆斯·A·希克斯;杰里米·琼斯 |
| 分类号 | B24B37/04;B24D13/12;B24D13/14;B24D7/12;B24B49/04 | 主分类号 | B24B37/04 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 马高平;杨梧 |
| 主权项 | 1.一种研磨片，其包括(a)一主体，其包括一正面、一背面以及一周缘表面，(b)一研磨表面，(c)一端点侦测口，其由主体的正面贯穿至背面，以及(d)一排放槽道，其与该端点侦测口形成流体连通。 | ||
| 地址 | 美国伊利诺伊州 | ||