多层反射膜及其制程

摘要

本发明公开一种多层反射膜及其制程，可与其他已知的制程合并应用于发光元件的微共振腔的制造；其步骤包括：(一)、在一发光元件的透明基板上进行溅镀，同时加入第一种浓度或成份的反应气体，形成具有第一种光折射率的薄膜；(二)、持续前一步骤的溅镀，将所加入的反应气体换成第二种浓度或成份的气体；形成具有第二种光折射率的薄膜；及(三)、重复进行前两步骤，借以形成相邻两层的光折射率互不相同的多层反射膜，必要时，于进行步骤(一)之前，先以涂布或溅镀的方法，在透明基板上添加一种高穿透率的高分子化合物，或是高穿透率的无机薄膜，使之至少构成一界面缓冲层，将可减少在溅镀过程中发生多层反射膜剥落或劣化的机会。

主权项

1、一种多层反射膜的制程，其特征在于制造步骤至少包括：(a)溅镀沉积第一多层反射膜，在一发光元件的透明基板上进行溅镀，同时加入第一种反应气体，形成具有第一种光折射率的薄膜；(b)溅镀沉积第二多层反射膜，持续前一步骤的溅镀，将前述第一种反应气体换成第二种反应气体，借以形成具有第二种光折射率的薄膜；及(c)重复进行前两步骤，借以形成一种相邻两层的光折射率皆不同的多层反射膜。