发明名称 Silicon-containing polymer, resist composition and patterning process
摘要
申请公布号 EP1236745(A3) 申请公布日期 2004.03.24
申请号 EP20020251419 申请日期 2002.02.28
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 TAKEDA, TAKANOBU;HATAKEYAMA, JUN;ISHIHARA, TOSHINOBU;KUBOTA, TOHRU;KUBOTA, YASUFUMI
分类号 C08F30/08;C08F230/08;G03F7/004;G03F7/075;(IPC1-7):C08F30/08;C08G77/00 主分类号 C08F30/08
代理机构 代理人
主权项
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