发明名称 IMPROVED METHOD AND APPARATUS FOR BI-DIRECTIONALLY POLISHING A WORKPIECE
摘要
申请公布号 KR20040025689(A) 申请公布日期 2004.03.24
申请号 KR20037016337 申请日期 2003.12.12
申请人 发明人
分类号 B24B37/04;B24B21/04;B24B21/22;H01L21/304 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
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