发明名称 Fremgangsmåde og apparat til sekventiel plasmabehandling
摘要
申请公布号 DK1253216(T3) 申请公布日期 2004.03.22
申请号 DK20010401101T 申请日期 2001.04.27
申请人 EUROPEAN COMMUNITY 发明人 COLPO, PASCAL;ROSSI, FRANCOIS
分类号 H05H1/24;A61J1/10;A61M25/00;B01J19/08;C23C16/515;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):C23C16/04 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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