发明名称
摘要
申请公布号 JP3508566(B2) 申请公布日期 2004.03.22
申请号 JP19980259881 申请日期 1998.09.14
申请人 发明人
分类号 C23C16/18;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/50;C23C16/505;(IPC1-7):C23C16/448 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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