发明名称 装载埠输送系统之定位插销
摘要 一种晶圆厂内装载埠输送系统(Load Port Transfer; LPT)之定位插销。本发明之定位插销的侧面具有侧翼、侧翼以下的直径小于插销孔的直径、以及以螺帽锁紧于装载埠平台上。运用本发明之定位插销,可达成避免插销被外力推入或拉出、固定插销之外露长度、以及容易安装之目的。
申请公布号 TW580474 申请公布日期 2004.03.21
申请号 TW090114664 申请日期 2001.06.15
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 严知本;蔡政谚;李大庆;庄政强;许永茂
分类号 B65B1/04 主分类号 B65B1/04
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路一四八号十二楼
主权项 1.一种定位插销,适用于具有一插销孔之一装载埠门,该定位插销至少包括:一主体;一螺纹,位在该主体之一端;一侧翼,位于该主体的侧面,且该主体在该侧翼与该螺纹间的直径略小于该插销孔的直径,其中该侧翼系配合该插销孔边缘的一倒角;以及一螺帽,套在该螺纹上。2.如申请专利范围第1项所述之定位插销,其中该主体系以sus316不锈钢制成。3.如申请专利范围第1项所述之定位插销,其中该主体系以sus304不锈钢制成。4.如申请专利范围第1项所述之定位插销,其中该螺帽系以sus316不锈钢制成。5.如申请专利范围第1项所述之定位插销,其中该螺帽系以sus304不锈钢制成。6.一种定位插销,适用于具有一插销孔之一装载埠门,该定位插销至少包括:一主体;一螺纹,位在该主体之一端;复数个侧翼,位于该主体的侧面,且该主体在该些侧翼与该螺纹间的直径略小于该插销孔的直径,其中该些侧翼系配合该插销孔边缘的一倒角;以及一螺帽,套在该螺纹上。7.如申请专利范围第6项所述之定位插销,其中该主体系以sus316不锈钢制成。8.如申请专利范围第6项所述之定位插销,其中该主体系以sus304不锈钢制成。9.如申请专利范围第6项所述之定位插销,其中该螺帽系以sus316不锈钢制成。10.如申请专利范围第6项所述之定位插销,其中该螺帽系以sus304不锈钢制成。图式简单说明:第1图为习知200mm装载埠输送系统之示意图;第2图为习知装载埠平台之上视图;第3图为习知定位插销在装载埠输送系统中之位置关系图;第4图为习知定位插销之放大图;第5图为本发明之一较佳实施例之定位插销在装载埠输送系统中之位置关系图;以及第6图为本发明之一较佳实施例之定位插销之详图。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路八号