| 主权项 |
1.一种承载头,其至少包含: 一扣环; 一加压室;以及 一流体绷紧弹性膜,该弹性膜具有一内表面以形成 该加压室之一边界,且该弹性膜具有一粗糙外表面 以将一基材按压在一研磨表面上,其中该外表面较 该内表面粗糙。2.如申请专利范围第1项所述之承 载头,其中上述之弹性膜之该外表面的粗糙度足以 使得该基材不会相对于该弹性膜发生移动或转动 。3.如申请专利范围第1项所述之承载头,其中上述 之弹性膜系以具有高摩擦系数的材料形成。4.如 申请专利范围第1项所述之承载头,其中上述弹性 膜之该外表面的摩擦系数足够高以使得该基材在 研磨时不会相对于该弹性膜发生移动。5.如申请 专利范围第1项所述之承载头,其中上述弹性膜之 该外表面包括增加该外表面摩擦系数之特征。6. 如申请专利范围第5项所述之承载头,其中该特征 系选自沟槽及孔洞。7.一种承载头,其至少包含: 一扣环; 一加压室;以及 一弹性膜,用以将一基材按压在一研磨表面上,且 该弹性膜包含一内表面用以形成该加压室之一边 界,以及一外表面具有用以增加该外表面之一摩擦 系数的表面结构特征,其中该外表面较该内表面粗 糙。8.如申请专利范围第7项所述之承载头,其中上 述之弹性膜系以具有高摩擦系数的材料形成。9. 如申请专利范围第7项所述之承载头,其中上述弹 性膜的外表面被粗糙化,藉以增加其摩擦系数。10. 如申请专利范围第7项所述之承载头,其中上述弹 性膜的摩擦系数足以使得该基材不会相对于该弹 性膜发生移动。11.如申请专利范围第7项所述之承 载头,其中上述之结构特征为沟槽。12.如申请专利 范围第7项所述之承载头,其中上述之结构特征为 孔洞。13.一种承载头,其至少包含: 一扣环;以及 一弹性膜,该弹性膜具有一外表面用以按压一基材 在一研磨表面,其中该弹性膜之该外表面之粗糙度 较该弹性膜之一内表面之粗糙度为高。14.一种承 载头之弹性膜,该弹性膜至少包含: 一内表面,以形成一加压室之一边界;以及 一外表面,以将一基材按压至一研磨表面,其中该 外表面较该内表面为粗糙。15.如申请专利范围第 14项所述之弹性膜,其中该弹性膜之该外表面系粗 糙化处理。16.如申请专利范围第14项所述之弹性 膜,其中该弹性膜之该外表面系以孔洞或沟槽形成 。17.如申请专利范围第14项所述之弹性膜,其中该 弹性膜系以一高摩擦系数之一材质组成。18.如申 请专利范围第14项所述之弹性膜,其中该弹性膜之 该外表面包括增加其摩擦系数之特征。19.如申请 专利范围第18项所述之弹性膜,其中该弹性膜之该 摩擦系数系高到使该基材不会相对于该膜转动或 移动。图式简单说明: 第1图为化学机械研磨设备的立体分解图。 第2图为根据本发明之承载头的概要剖面图。 第3图为部分的承载头的概要剖面图,其显示基材 、膜以及扣环在进行研磨当中的交互作用。 |
