| 主权项 |
1.一种曲面体之表面状态检查方法,其包含步骤: 从对检查对象面之仰角不同之多个方向,分别照射 不同之色彩光,在照明之状态下对来自该检查对象 面上之曲面体之反射光进行摄影; 在包含利用该摄影所获得之曲面体像之图像区域, 实行抽出处理,对每一个图素抽出由各色彩之混合 所产生之白色成分之强度,和衰减处理,用来使各 图素之色成分之强度分别衰减与各个图素之被抽 出之白色成分之强度对应之値; 实行各色成分之强度之变更处理,对于该衰减处理 后之各个图素,使各个图素之各色成分中之强度最 大之色成分比衰减处理前强,和用来补偿由于该衰 减处理在该图素之各色成分之强度之总和所产生 之损失;和 根据该各色成分之强度之变更处理后之图像之各 色彩之分布状态,实行与该曲面体之表面状态之检 查有关之处理。2.一种曲面体之表面状态检查方 法,其包含步骤: 从对检查对象面之仰角不同之多个方向,分别照射 不同之色彩光,在照明之状态下,对来自扩散反射 面之反射光进行摄影,该扩散反射面对该检查对象 面具有任意之倾斜角度; 在该摄影所获得之图像中之扩散反射面像中,决定 各色成分之强度之调整倍率,使与来自该倾斜角度 对应之仰角方向之光之对应色成分,大于其他之色 成分; 在与该扩散反射面之摄影时之同样照明状态下,对 来自检查对象面之曲面体之反射光进行摄影; 在包含有利用该摄影所获得之图像中之曲面体像 之图像区域,根据该调整倍率调整各色成分之强度 ; 在该调整处理后之该图像区域,实行抽出处理,对 每一个图素抽出由于各色彩之混合所产生之白色 成分之强度,和衰减处理,用来使各图素之色成分 之强度分别衰减与该图素有关之被抽出白色成分 之强度之对应値; 实行各色成分之强度之变更处理,对于该衰减处理 后之各个图素,使各个图素之各色成分中之强度最 大之色成分比衰减处理前强,和用来补偿由于该衰 减处理在该图素之各色成分之强度之总和所产生 之损失;和 根据该强度之变更处理后之图像中之各色彩之分 布状态,实行与该曲面体之表面状态之检查有关之 处理。3.如申请专利范围第1或2项之曲面体之表面 状态检查方法,其中该曲面体之表面状态之检查之 有关处理包含有判别处理,使包含该强度变更处理 后之图像中之该曲面体像之图像区域之各个色彩 之分布状态,与预先设定之形态资料进行比较,用 来判别该曲面体之表面状态是否良好。4.如申请 专利范围第1或2项之曲面体之表面状态检查方法, 其中该曲面体之表面状态之检查之有关处理更包 含之处理有:显示处理,用来显示该强度之变更处 理后之图像;和受理处理,对于该被显示之图像中 之该曲面体像,受理用以表示是否良好之判断结果 之资料之输入。5.一种基板检查装置,其具备有: 照明装置,将用以发出不同色彩光之多个光源配置 成对检查对象之基板面成为在互不相同之仰角之 方向; 摄影装置,用来对来自该基板之反射光进行摄影; 图像输入装置,在该照明装置之各个光源被点亮之 状态,取入该摄影装置所产生之图像; 白色成分衰减装置,在包含有由该图像输入装置放 入之输入图像中之焊接图像之图像区域,用来实行 抽出处理,对每一个图素抽出各色彩之混合所产生 之白色成分之强度,和衰减处理,用来使各图素之 色成分之强度分别衰减与该图素有关之被抽出白 色成分之强度之对应値; 强度校正装置,对于该衰减处理后之各个图素,实 行各色成分之强度之变更处理,使各个图素之各色 成分中之强度最大之色成分比衰减处理前强,和用 来补偿由于该衰减处理在该图素之各色成分之强 度之总和所产生之损失; 判别装置,在该强度之变更衰减处理后之图像中之 该图像区域,使各色彩之分布状态与预先设定之模 态资料进行比较,用来判别该焊接之表面状态;和 输出装置,用来输出该判别装置之判别结果。6.如 申请专利范围第5项之基板检查装置,其中 更具备有强度调整装置,在包含有由该图像输入装 置取入之输入图像中之焊接图像之图像区域,根据 预先设定之各色成分之强度之调整倍率,用来调整 各色成分之强度;和 该白色成分衰减装置中以该强度调整装置调整处 理后之图像作为处理对象。7.一种基板检查装置, 其具备有: 照明装置,将用以发出不同色彩光之多个光源配置 成对检查对象之基板面成为在互不相同之仰角之 方向; 摄影装置,用来对来自该基板之反射光进行摄影; 图像输入装置,在该照明装置之各个光源被点亮之 状态,取入该摄影装置所产生之图像; 白色成分衰减装置,在包含有由该图像输入装置放 入之输入图像中之焊接图像之图像区域,用来实行 抽出处理,对每一个图素抽出各色彩之混合所产生 之白色成分之强度,和衰减处理,用来使各图素之 色成分之强度分别衰减与该图素有关之被抽出白 色成分之强度之对应値; 强度校正装置,对于该衰减处理后之各个图素,实 行各色成分之强度之变更处理,使各个图素之各色 成分中之强度最大之色成分比衰减处理前强,和用 来补偿由于该衰减处理在该图素之各色成分之强 度之总和所产生之损失; 显示装置,用来显示该强度之变更处理后之图像; 和输入装置,对于该显示装置所显示之图像中之焊 接之图像,用来接受表示是否良好之判断结果之资 料之输入。8.如申请专利范围第7项之基板检查装 置,其中 更具备有强度调整装置,在包含有由该图像输入装 置取入之输入图像中之焊接图像之图像区域,根据 预先设定之各色成分之强度之调整倍率,用来调整 各色成分之强度;和 该白色成分衰减装置中以该强度调整装置调整处 理后之图像作为处理对象。9.如申请专利范围第6 或8项之基板检查装置,其中 该各色成分之强度调整所使用之调整倍率是在该 照明装置之各个光源被点亮之状态下,使对该基板 面具有任意之倾斜角度之扩散反射面,在利用该摄 影装置摄影时之输入图像中之该扩散反射面像,使 来自与该倾斜角度对应之仰角方向之光之对应色 成分,大于其他之色成分,以此方式决定每一个色 成分之倍率。图式简单说明: 第1图是方块图,用来表示本发明之一实施例之基 板检查装置之构造。 第2图之图形用来表示光源之光量调整后对扩散反 射板之图像所获之色调之特性。 第3图是说明图,用来说明使用在强度调整处理之 调整倍率之决定方法。 第4图之图形用来表示强度调整处理后对扩散反射 板之图像所获得之色调之特性。 第5图是说明图,用来表示白色成分除去处理之一 方法。 第6图是说明图,用来表示强度校正处理之一方法 。 第7图是流程图,用来表示教学时之步骤。 第8图是流程图,用来表示检查时之步骤。 第9图是说明图,用来表示基板检查装置之光学系 之构造和辨识处理之原理。 第10图是说明图,用来表示第9图之光学系之辨识处 理之原理。 第11图之图形用来表示第10图之光学系所获得之焊 接之图像上之色调之特性。 |
