| 发明名称 |
БУЛЯ НИТРИДА ЭЛЕМЕНТА III-V ГРУПП ДЛЯ ПОДЛОЖЕК И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ПРИМЕНЕНИЯ |
| 摘要 |
An (Al,Ga,ln)N boule comprising native (Al,Ga,ln)N seed material and (Al,Ga,ln)N material grown thereon, comprising an interlayer or at least one parting material layer contained within the boule. |
| 申请公布号 |
RU2002124868(A) |
申请公布日期 |
2004.03.20 |
| 申请号 |
RU20020124868 |
申请日期 |
2001.03.12 |
| 申请人 |
ЭДВАНСТ ТЕКНОЛОДЖИ МАТИРИЭЛЗ, ИНК. (US) |
发明人 |
ВОДОУ Роберт П. (US);ФЛИНН Джеффри С. (US);БРАНДЗ Джордж Р. (US);РЕДУИНГ Джоан М. (US);ТИШЛЕР Майкл А. (US) |
| 分类号 |
C30B29/38;C30B23/00;C30B25/00;C30B25/02;C30B25/18;C30B33/00;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L33/32 |
主分类号 |
C30B29/38 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
