| 发明名称 |
Device with foil corrector for electron optical aberrations at low energy |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003261023(A8) |
申请公布日期 |
2004.03.19 |
| 申请号 |
AU20030261023 |
申请日期 |
2003.09.01 |
| 申请人 |
STICHTING FUNDEMENTEEL ONDERZOEK DER MATERIE (FOM);TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT |
发明人 |
PIETER KRUIT;ROGIER HERMAN VAN AKEN |
| 分类号 |
H01J37/05;H01J37/12;H01J37/153;(IPC1-7):H01J37/153 |
主分类号 |
H01J37/05 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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