| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING UNIT, METHOD OF DETECTING END POINT OF CLEANING OF SUBSTRATE PROCESSING UNIT, AND METHOD OF DETECTING END POINT OF SUBSTRATE PROCESSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003261792(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.19 |
| 申请号 |
AU20030261792 |
申请日期 |
2003.08.28 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
TAKASHI SHIGEOKA;HIROSHI KANNAN;TADAHIRO ISHIZAKA;YASUHIKO KOJIMA;YASUHIRO OSHIMA |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/52;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/66;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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