| 发明名称 |
Wafer-level seal for non-silicon-based devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003243451(A8) |
申请公布日期 |
2004.03.19 |
| 申请号 |
AU20030243451 |
申请日期 |
2003.06.09 |
| 申请人 |
SILICON LIGHT MACHINES CORPORATION |
发明人 |
LAWRENCE H. RAGAN;GREGORY D. MILLER;GARY W. GREEN;MIKE BRUNER |
| 分类号 |
H01L23/02;B81B7/00;H03H3/08;H03H9/02;H03H9/10;H03H9/145;(IPC1-7):H01L29/72 |
主分类号 |
H01L23/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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