发明名称 |
TRANSISTOR STRUCTURE INCLUDING A METAL SILICIDE GATE AND CHANNEL IMPLANTS AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME |
摘要 |
|
申请公布号 |
AU2003265774(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.19 |
申请号 |
AU20030265774 |
申请日期 |
2003.08.28 |
申请人 |
MICRON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
WERNER JUENGLING;RICHARD, H. LANE |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|