| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ELECTROMECHANICALLY AND/OR ELECTROCHEMICALLY-MECHANICALLY REMOVING CONDUCTIVE MATERIAL FROM A MICROELECTRONIC SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003262996(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.19 |
| 申请号 |
AU20030262996 |
申请日期 |
2003.08.27 |
| 申请人 |
MICRON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
WHONCHEE LEE;SCOTT, G. MEIKLE;SCOTT, E. MOORE |
| 分类号 |
B23H5/08;B24B1/00;B24B7/19;B24B37/04;B24B51/00;C25F3/02;C25F3/30;C25F7/00;H01L21/304;H01L21/3063;H01L21/3205;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B23H5/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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