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发明名称 HIGH THROUGHPUT DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 AU2003265277(A1) 申请公布日期 2004.03.19
申请号 AU20030265277 申请日期 2003.07.14
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. 发明人 KEVIN HOFFMAN;JOACHIM DOEHLER;MARK LYCETTE;JAMES KEY;HERBERT, C. OVESHINSKY
分类号 C23C14/56;C23C16/54;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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