| 发明名称 |
Systems and methods for forming metal oxides using metal organo-amines and metal organo-oxides |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003262900(A8) |
申请公布日期 |
2004.03.19 |
| 申请号 |
AU20030262900 |
申请日期 |
2003.08.27 |
| 申请人 |
MICRON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
DONALD L. WESTMORELAND;BRIAN A. VAARSTRA |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/316;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8244;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/105;H01L27/108;H01L27/11;H01L29/78;(IPC1-7):C23C16/40;C23C16/00;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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