发明名称
摘要
申请公布号 JP2004508714(A) 申请公布日期 2004.03.18
申请号 JP20020524218 申请日期 2001.08.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/8242;H01L21/84;H01L23/52;H01L27/108;H01L27/12;H01L29/417;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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