| 发明名称 |
Vorrichtung für das Einlegen von durch Zersägen eines Rohlings erhaltenen Wafern in Aufbewahrungselemente |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69722071(T2) |
申请公布日期 |
2004.03.18 |
| 申请号 |
DE19976022071T |
申请日期 |
1997.03.29 |
| 申请人 |
HCT SHAPING SYSTEMS SA, CHESEAUX |
发明人 |
HAUSER, CHARLES |
| 分类号 |
B28D1/04;B28D5/00;H01L21/304;H01L21/677;(IPC1-7):B28D5/00;B23Q7/10;B28D7/04 |
主分类号 |
B28D1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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