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发明名称 Beschleunigungssensor und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE69530716(T2) 申请公布日期 2004.03.18
申请号 DE1995630716T 申请日期 1995.03.07
申请人 DENSO CORP., KARIYA 发明人 UENOYAMA, HIROFUMI;AO, KENICHI;KANOSUE, MASAKAZU;SUZUKI, YASUTOSHI;TAKEUCHI, YUKIHIRO
分类号 G01P15/125;G01P15/08;G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/12;H01L29/00 主分类号 G01P15/125
代理机构 代理人
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